描述
产品说明
ZMI-4104
ZYGO ZMI-4104是一款基于激光干涉技术的高精度位移测量设备，采用ZYGO公司自主研发的高稳定性氦-氖激光源，结合先进的干涉测量技术，能够实现亚纳米级的位移测量精度其主要特点包括高分辨率、高稳定性和模块化设计，适用于多种精密测量需求
产品参数
分辨率：优于纳米级，具体为0.1nm
测量范围：+100μm，适用于微小位移的精确测量
最小光功率：8.0µW、1.9µW、0.1µW、0.07µW
最小电压：1.0V
接口类型：支持RS232、USB等多种通信协议
工作温度和湿度：适用于各种环境条件
产品规格
板卡类型：6U VME或6U VME64x
最大扩展能力：支持扩展到64个测量轴
测量速度：最大速度可达10mm/s，满足高速动态测量需求
系列
ZYGO ZMI-4104属于ZYGO ZMI系列，该系列设备以其高精度和稳定性著称，广泛应用于纳米技术、精密加工、光学制造等领域
特征
高精度：测量误差小于0.25μm，适用于高精度要求的场景
高稳定性：采用氦-氖激光源，确保长期稳定运行
模块化设计：支持扩展到64个测量轴，适应复杂测量需求
快速测量：最大速度可达10mm/s，适合动态测量
数字输出：支持数字信号输出，便于与数据采集系统和控制系统集成
作用与用途
ZYGO ZMI-4104主要用于以下领域：
半导体制造：监控和测量半导体设备中的微小位移
精密工程：校准和测试精密机械和仪器
科学研究：在物理、化学和生物科学领域进行高精度实验
航空航天：用于航空航天器的精密装配和测试
工业自动化：应用于自动化控制、机器视觉和精密加工
应用领域
ZYGO ZMI-4104广泛应用于以下领域：
纳米技术：用于材料表面形貌、厚度和折射率的测量
精密加工：提高生产效率和产品质量
光学制造：确保光学元件的精确加工
科学研究：为物理、化学和生物科学提供高精度测量工具
航空航天：用于航空航天器的精密装配和测试
