描述
产品说明：
853-150806-001
LAM 853-150806-001是一款高精度光谱仪模块，专为半导体制造中的材料组成测量与控制设计，适用于8英寸晶圆，能够精确控制半导体材料的组成，优化生产效率和产品质量 其主要功能包括测量材料组成、控制蚀刻工艺以及支持PLC控制系统，确保设备在复杂环境中的稳定运行
产品参数：
型号：853-150806-001
适用晶圆尺寸：8英寸
工作电压：220V
产品规格：
模块类型：ASM,EIOC CONTA MINI模块
尺寸：100mm x 100mm x 10mm
重量：1kg
系列：
属于“853-150806”系列，该系列模块专为半导体制造和工业自动化设计，具有高精度和可靠性
特征：
高精度：能够精确测量和控制材料组成，确保工艺参数的准确性
高可靠性：采用耐用材料，能够在恶劣环境下长期稳定运行
易于集成：模块化设计，便于与现有系统无缝集成
支持PLC控制：可与PLC控制系统配合使用，实现精确控制
作用与用途：
作用：用于测量半导体材料的组成，控制蚀刻工艺，确保材料特性一致
用途：广泛应用于半导体制造、集成电路制造、功率器件制造和光电子器件制造等领域
应用领域：
半导体制造
集成电路制造
功率器件制造
光电子器件制造
MEMS设备制造
