描述
.产品说明
853-150806-001
LAM 853-150806-001是一款专为半导体制造设计的高精度光谱仪模块，适用于测量和控制半导体材料的组成 该模块属于ASM、EIOC CONTA MINI系列，采用紧凑型设计，能够精确测量材料吸收或发射的光量，从而优化生产效率和产品质量
2.产品参数
型号：853-150806-001
适用晶圆尺寸：8英寸
工作电压：220V
输出频率：50kHz
材质：石英或陶瓷
尺寸：100mm x 100mm x 10mm
3.产品规格
该模块包含光源、样品室和探测器，用于精确测量材料的组成 其高精度设计使其能够在蚀刻工艺中提供可靠的测量结果，确保材料特性的一致性
4.系列
LAM 853-150806-001属于Lam Research的ASM、EIOC CONTA MINI系列模块，这些模块专为半导体制造中的关键测量任务而设计
5.特征
高精度：能够实现高精度测量，满足先进半导体制造工艺的需求
耐用性：采用高质量材料制造，确保长期稳定运行
紧凑设计：模块体积小，易于集成到现有系统中
兼容性：支持PLC控制系统，便于与其他设备无缝对接
6.作用与用途
LAM 853-150806-001的主要作用是测量半导体制造过程中材料的组成，并控制蚀刻工艺以确保材料特性的一致性 此外，它还支持在复杂环境中进行精确测量，广泛应用于以下领域：
半导体制造
集成电路制造
功率器件制造
光电子器件制造
MEMS设备制造
7.应用领域
LAM 853-150806-001主要应用于半导体行业，特别是在蚀刻工艺中作为关键组件使用 此外，它还可以用于材料分析、质量控制和过程监控等场景
