描述
产品说明
853-150806-001
LAM 853-150806-001是一款光谱仪模块，专为实验室和半导体制造环境设计，提供高精度的材料组成测量能力该模块采用紧凑型设计，易于集成到现有系统中，同时具备耐用性和可靠性，适用于长时间运行
产品参数
型号：853-150806-001
品牌：LAM Research
操作电压：220V
输出频率：50kHz
认证：CE、RoHS、WEEE
材质编码：853-150806-001
产品规格
尺寸：100mm x 100mm x 10mm
重量：1kg
适用晶圆尺寸：8英寸
腔体类型：单腔
材料：石英
系列
该产品属于LAM系列，该系列模块通常具有高精度、高可靠性和易于集成的特点
特征
高精度测量能力，适用于复杂工艺参数的精确控制
耐用性强，能够在恶劣工业环境中长期稳定运行
紧凑设计，便于集成到现有系统中，不占用额外空间
先进的信号处理技术确保长时间运行时性能稳定
作用与用途
作用：用于测量半导体材料的组成，并通过精确控制工艺参数优化生产效率和产品质量
用途：广泛应用于半导体制造设备中，包括集成电路、功率器件、光电器件和MEMS器件的生产
应用领域：半导体制造行业，特别是在需要高精度材料组成测量和控制的场景中
应用领域
LAM 853-150806-001主要应用于半导体制造行业，包括但不限于以下领域：
集成电路制造
功率器件生产
光电器件制造
MEMS器件加工
