描述
产品说明
853-150806-001
LAM 853-150806-001是一款高精度光谱仪模块，适用于半导体制造设备中的材料组成测量和控制其主要功能是通过精确测量材料的吸收或发射光量，来优化生产效率和产品质量
产品参数
型号：853-150806-001
适用晶圆尺寸：8英寸
光源：包含在模块中
探测器：用于测量样品吸收或发射的光量
操作电压：220V
输出频率：50kHz
认证：CE,RoHS,WEEE
产品规格
尺寸：100mm x 100mm x 10mm
重量：1kg
材料：陶瓷
系列
该产品属于LAM Research Corporation的高精度光谱仪模块系列
特征
高精度：能够精确测量关键过程参数
耐用性：采用高质量材料，确保在严苛工业条件下的长期可靠性
紧凑设计：模块化设计，易于集成到现有制造系统中
智能化控制：先进的信号处理技术，保证性能的稳定性和一致性
作用
LAM 853-150806-001的主要作用是：
测量半导体材料的组成
控制PLC系统，确保半导体制造过程中材料特性的精确控制
优化生产效率和产品质量
用途
该产品广泛应用于半导体制造设备中，特别是在集成电路、功率器件、光电器件和MEMS器件的生产过程中
应用领域
LAM 853-150806-001主要应用于半导体行业，尤其是在蚀刻工艺中作为组件使用此外，它还可以用于需要精确材料特性测量的其他应用场景
