描述
产品说明
4022.455.16371
ASML 4022.455.16371是一种基于微控制器的发动机控制和报警系统，主要用于海洋和工业应用 它能够提供全面的发动机监测、控制和保护功能，包括精确控制发动机参数（如速度、燃油喷射和空燃比）以及实时监测发动机运行状态（如温度、压力和振动），确保设备的安全可靠运行
产品参数
最大硅片尺寸：300mm（12英寸）
对准精度：亚纳米级
吞吐量：每小时处理多片硅片
通信接口：支持多种通信协议，如以太网和VGA
产品规格
机械结构精密，光学系统先进，控制系统集成高精度
应用于半导体光刻机中的光学系统、运动控制系统、真空系统和测量系统，确保电路图案的精确复制和定位
系列
属于ASML的TWINSCAN系列，专注于高精度集成电路制造
特征
高精度与可靠性：适用于精密半导体制造过程
高效性与智能化：能够优化性能并减少停机时间
灵活性：支持多种工业环境和应用场景
作用与用途
在半导体制造中，用于光刻机系统，负责控制、测量、数据传输等功能，确保电路图案的精确转移
在海洋和工业应用中，作为发动机控制和报警系统，提供全面的监测和保护功能
应用领域
半导体制造：用于集成电路（IC）制造，特别是在光刻工艺中，确保掩膜上的精细图案精确复制到硅片上
海洋和工业应用：作为发动机控制和报警系统，适用于船用发动机和工业环境中的柴油发动机
发电和辅助系统：支持船用发动机和工业柴油发动机
