描述
产品说明
ZMI-4104
ZYGO ZMI-4104是一款基于干涉原理的高精度位移测量设备，采用ZYGO ZMI系列激光源驱动的干涉仪，通过光信号计算位移 该设备具有亚纳米级的测量精度和高稳定性，适用于精密工程、科学研究、半导体制造等领域
产品参数
测量精度：误差小于0.25µm
分辨率：0.1nm
测量范围：+100µm
光源：ZYGO ZMI系列激光源
板卡类型：6U VME或6U VME64x
兼容激光器：7705、7702、7714和7724
最小光功率：8.0µW、1.9µW、0.1µW、0.07µW
最小电压：1.0V
最大速度：10mm/s
扩展性：支持模块化扩展至64个测量轴
产品规格
工作波长范围：NIR（1.053µm~1.064µm）、SWIR（1.55µm）、MWIR（3.39µm）、LWIR（10.6µm）
输入输出接口：支持RS232、RS485等多种数据接口
安装方式：可安装在标准DIN导轨上，配备机械铁存锁和铁定机构
系列与特征
ZYGO ZMI-4104属于ZYGO ZMI系列，该系列设备以其高采样率、宽输入范围、高稳定性和低噪声性能著称 其主要特征包括：
高精度测量能力
高稳定性，确保长期运行可靠
快速测量能力，最大速度可达10mm/s
亚纳米分辨率，适合纳米技术、精密加工和光学检测等高精度需求领域
作用与用途
ZYGO ZMI-4104主要用于以下领域：
纳米技术：测量材料表面形貌、厚度、折射率等参数
精密加工：用于半导体制造、光学检测和实验室测试
科学研究：提供高精度的位移测量工具，支持科研和技术开发
应用领域
ZYGO ZMI-4104广泛应用于以下领域：
半导体制造：用于晶圆检测和工艺控制
光学制造：测量光学元件的形貌和波前误差
纳米技术：研究纳米尺度材料的物理特性
科学研究：支持高精度的实验测量和数据分析
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