描述
产品说明

220DD-00100A2B
MKS 220DD-00100A2B是一款基于差分电容测量原理的高精度压力传感器,适用于低压测量其设计紧凑,采用不锈钢外壳和陶瓷传感元件,确保了设备的耐用性和可靠性
产品参数
测量范围:0-1 Torr(0-1 mbar)
精度:±0.5%FS
响应时间:<10 ms
工作温度范围:-70°C至85°C
输入电压:12-24 VDC或115/230 VAC
输出信号:0-10 VDC或4-20 mA
接口:0.5英寸外径管接头
防护等级:IP67
产品规格
量程:0-1 Torr
精度:±0.5%FS
响应时间:<10 ms
介质兼容性:空气、惰性气体和非腐蚀性液体
外壳材料:不锈钢
系列
该产品属于Baratron®系列,是MKS Instruments公司生产的高性能压力传感器
特征
高精度:测量精度高达±0.5%FS,适用于苛刻的应用场景
快速响应:响应时间小于10毫秒,适合动态过程监测
耐腐蚀性:能够承受各种腐蚀性气体的侵蚀,适用于恶劣环境
宽温度范围:工作温度范围为-70°C至85°C,适应不同环境条件
数字接口:支持多种数字接口,便于与上位机通信
作用与用途
MKS 220DD-00100A2B主要用于以下领域:
半导体制造:薄膜沉积、晶圆清洗等
分析仪器:质谱仪、光谱仪、电子显微镜等
真空系统:真空镀膜、真空包装等
气体流量测量:用于气体流量的精确控制
压力控制:在气动系统、液压系统中进行压力监测和控制
产品测试:测试产品的压力耐受性,如汽车、航空航天和电子产品
应用领域
该产品广泛应用于工业和科研领域,包括但不限于:
半导体制造
分析仪器
真空系统
气体流量测量
压力控制
医疗设备
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220DD-00100A2B